特許

J-GLOBAL ID：200903041006132441

光干渉計

発明者： 秋國 文夫 ,  市川 昭夫 ,  佐野 栄一
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社 ,  株式会社 エフケー光学研究所
代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086736
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283708
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 光干渉計において、移動ミラーが直線的に長い距離を移動して、光の波長測定の精度を向上しながら、十分な小型化が図れるようにする。【解決手段】 基準光と測定光を、ビームスプリッタにより反射光と透過光による直交する2光路に分岐し、各々の光路において、反射光及び透過光を複数の反射器により互いに反射させた後、再びビームスプリッタで合波してから受光器に受光させる光干渉計であって、複数の反射器を筐体に固定の固定反射器34,35と筐体に対し可動の移動反射器36,37とに分けて、移動反射器36,37を、基準光の光軸とほぼ平行する光軸L2上に配置する。そして、移動反射器36,37を基準光軸とほぼ平行な光軸L2上に沿って移動する駆動部材65とガイド部材51の間に、基準光と測定光の光路を配置する。

請求項（抜粋）：

基準光と測定光を複数の光学部品により互いに干渉させる光干渉計であって、複数の光学部品を筐体に固定の固定光学部品と筐体に対し可動の移動光学部品とに分けて、移動光学部品を、基準光の光軸とほぼ平行する光軸上に配置するとともに、移動光学部品を基準光軸とほぼ平行な光軸上に沿って移動する駆動部材とガイド部材の間に、基準光と測定光の光路を配置したこと、を特徴とする光干渉計。

Fターム (11件)：

2F064CC04 ,  2F064CC10 ,  2F064FF02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG15 ,  2F064GG16 ,  2F064GG22 ,  2F064HH01 ,  2F064HH05 ,  2F064JJ01 ,  2F064KK01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フーリエ変換型分光器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-089360   出願人：横河電機株式会社
• 光波長計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-273423   出願人：安藤電気株式会社
• 特開平4-337426