特許
J-GLOBAL ID：200903041077155710
マイクロチャンネル構造体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千明 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-177197
公開番号（公開出願番号）：特開2002-370198
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
要約：
【要約】【課題】 例えばマイクロチップの製作に好適で、マイクロマシン技術を石英の精密溝加工法として活用し、従来の機械工具による通孔の穿孔を廃し、従来の機械加工およびその延長技術では困難であった数10μmの寸法領域の加工を実現し、微細な通孔若しくは溝を合理的かつ高精密に形成し、カバ-プレ-トないしマイクロチャンネル構造体を合理的に製作できる、マイクロチャンネル構造体およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 マイクロチャンネル4を形成した基板2と、微小の通孔13〜15を厚さ方向に形成したカバ-プレ-ト3とを備える。前記マイクロチャンネル4側に前記カバ-プレ-ト3を接合し、前記通孔13〜15をマイクロチャンネル4に連通させる。前記カバ-プレ-ト3を少なくとも二つのカバ-プレ-トピ-ス10〜12を接合して構成する。一方若しくは双方のカバ-プレ-トピ-ス10〜12の接合面に、前記通孔13〜15の全部または一部を形成する。
請求項（抜粋）：
マイクロチャンネルを形成した基板と、微小の通孔を厚さ方向に形成したカバ-プレ-トとを備え、前記マイクロチャンネル側に前記カバ-プレ-トを接合し、前記通孔をマイクロチャンネルに連通させたマイクロチャンネル構造体において、前記カバ-プレ-トを少なくとも二つのカバ-プレ-トピ-スを接合して構成し、その一方若しくは双方のカバ-プレ-トピ-スの接合面に、前記通孔の全部または一部を形成したことを特徴とするマイクロチャンネル構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (1件)
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