基板搬送方法および基板搬送カセット

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-038707
公開番号（公開出願番号）：特開平10-231023
出願日： 1997年02月24日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】近年のLCDやPDPの大型化に対応するには、製造面においては効率のよい大型基板搬送技術が要求されており、この要求に対応できる所要スペースの小さい大型基板搬送方法、および、それを可能とする基板搬送カセットが必要となっている。【解決手段】複数の基板を収納した基板搬送カセット50と、その基板搬送カセット50を積載する台車55と、垂直方向に回動する回動アーム71を有する複数のカセット保持台70とから成り、他のカセット保持台の近傍から搬送先のカセット保持台の近傍へ台車55で運ばれてきた基板搬送カセット50を、搬送先のカセット保持台70の回動アーム71により台車55の下方から上方へ持ち上げて、台車55からカセット保持台70に基板搬送カセット50を移すものである。

請求項（抜粋）：

基板を収納した基板搬送カセットを積載した台車をカセット保持台の近傍へ移動し、前記カセット保持台に設けられた回動アームにより前記基板搬送カセットを持ち上げて、前記台車上の前記基板搬送カセットを前記カセット保持台に移すことを特徴とする基板搬送方法。

IPC (3件)：

B65G 49/07 , G02F 1/1333 500 , H01J 9/48

FI (3件)：

B65G 49/07 L , G02F 1/1333 500 , H01J 9/48

引用特許：

審査官引用 (5件)

プレートキャリアの搬送車
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-001936 出願人：株式会社ニコン
特開平3-133152
特開昭61-203383

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