透明積層体の検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-265122
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091475
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】透明積層体を構成する複数の透明体のいずれの層間に異物が存在するかを知ることができる透明積層体の検査装置を提供する。【解決手段】 LCD1を、その一方の主面から他方の主面に向けて、透明板1a,1b,1cの積層方向に対して斜めに透過するレーザ光3aを放射するレーザ装置と、LCD1を、その一方の主面側から撮像する撮像装置と、レーザ装置および撮像装置とLCD1とを相対的に移動させることにより、レーザ光3aによるLCD1の透過位置を順次変化させる移送装置と、撮像装置により得られた画像データに基づいて、透明板1a,1b,1cのうちの任意の透明体表面の画像データを分離集積することにより、その透明体表面の画像を生成可能にする画像データ処理手段とを備えた。

請求項（抜粋）：

シート状の透明体が積層された透明積層体を撮像し、撮像により得られた画像に基づいて透明積層体を検査するための検査装置であって、前記透明積層体を、その一方の主面から他方の主面に向けて、前記透明体の積層方向に対して斜めに透過するレーザ光を放射するレーザ装置と、前記透明積層体を、その一方の主面側から撮像する撮像装置と、前記レーザ装置および前記撮像装置と前記透明積層体とを相対的に移動させることにより、前記レーザ光による前記透明積層体の透過位置を順次変化させる移送装置と、前記撮像装置により得られた画像データに基づいて、前記透明体のうちの任意の透明体表面の画像データを分離集積することにより、その透明体表面の画像を生成可能にする画像データ処理手段とを備えたことを特徴とする、透明積層体の検査装置。

Fターム (10件)：

2G051AA90 , 2G051AB06 , 2G051BA02 , 2G051BB09 , 2G051BC01 , 2G051CA04 , 2G051CA08 , 2G051CB01 , 2G051DA17 , 2G051EA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

ガラス基板の表裏欠陥識別方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-087050 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
特開平2-170008
欠陥評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-266466 出願人：三井金属鉱業株式会社

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