特許

J-GLOBAL ID：200903041194542546

加速度センサ

発明者： ホセ マリア サナルディ オカンポ ,  久保田 和芳 ,  パブロ バッカロ ,  斎藤 信雄
出願人/特許権者： 株式会社国際電気通信基礎技術研究所
代理人 (2件)： 鎌田 耕一 ,  黒田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-314575
公開番号（公開出願番号）：特開2006-126007
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】 小型で且つ任意の方向の加速度を検出することが可能な新規な加速度センサを提供する。 【解決手段】 基板101と、基板101上に形成された少なくとも1つのセンサ部102aとを備え、センサ部102aは、基板101上に基板101側から順に配置された第1および第2の層(半導体層123および124)を含む積層部103と、少なくとも第1および第2の層が折り曲げられることによって形成された起立部104aと、起立部104aの傾きを検出するための検出手段(ピエゾ抵抗素子132)とを含む。そして、第1の層の格子定数と第2の層の格子定数とは異なり、加速度を伴うセンサ部102aの移動によって起立部104aが傾く。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された少なくとも1つのセンサ部とを備える加速度センサであって、 前記センサ部は、前記基板上に前記基板側から順に配置された第1および第2の層を含む積層部と、少なくとも前記第1および第2の層が折り曲げられることによって形成された起立部と、前記起立部の傾きを検出するための検出手段とを含み、 前記第1の層の格子定数と前記第2の層の格子定数とは異なり、 加速度を伴う前記センサ部の移動によって前記起立部が傾く加速度センサ。

IPC (1件)：

G01P 15/12

FI (1件)：

G01P15/12 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 加速度センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-355019   出願人：日立金属株式会社
• 加速度センサとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-366814   出願人：沖電気工業株式会社