特許
J-GLOBAL ID：200903041237138914
基板の冷却方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-174624
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358206
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：
【要約】【課題】 冷却しようとする大型且つ厚板のガラス基板を非接触にて短時間で均一に冷却搬送させること。【解決手段】 大型且つ厚板のガラス基板の4辺と同等以上の平板のテーブルを水平に配置する。そのテーブルには随所に気流を垂直方向、斜め上方向に噴射する複数個の噴射口を設け、その複数噴射口から冷却用気流が噴射された状態で前工程からガラス基板を搬入し、ガラス基板を非接触状態で浮上させ、時にはガラス基板を揺動させるなどして短時間に均一に気流冷却し、設定温度又はそれ以下になった後、次工程へ送り出す。
請求項（抜粋）：
冷却すべき平面基板を、その基板面積よりも大きい面積を有する水平姿勢の平面に所定径、所定ピッチで配設された複数の気体噴射口を有する中空体のテーブル上面に載せ、気流を用いて浮かし且つ気流冷却することを特徴とする基板の冷却方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/06
, B65G 51/03
H01L 21/68 N
, B65G 49/06 Z
, B65G 51/03 Z
5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031GA53
, 5F031GA63
, 5F031HA38
, 5F031HA39
, 5F031HA56
, 5F031JA01
, 5F031JA04
, 5F031JA22
, 5F031JA46
, 5F031MA30
, 5F031PA18
