特許

J-GLOBAL ID：200903041241519248

検査装置

発明者： 浜松 玲 ,  渋谷 久恵 ,  前田 俊二
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (2件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-117727
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300517
出願日： 2005年04月15日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】 欠陥を高い精度で分類することができる検査装置を提供することにある。 【解決手段】 明るさが近いダイ間の画像信号同士の差分画像信号に対して欠陥検出しきい値と該欠陥検出しきい値よりも低い特徴量抽出のしきい値とを設けることで、欠陥の各種特徴量を精度よく抽出する検査装置。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

複数のダイが配列された被対象基板を載置して少なくともXY方向に走行するステージ系と、前記被対象基板に対して照明光を照射する照明光学系と、前記被対象基板から得られる反射光を検出して画像信号を取得する検出光学系と、該検出光学系で取得された画像信号を処理する画像処理部とを備えた検査装置であって、 前記画像処理部は、前記検出光学系で取得された画像信号を記憶するデータ記憶部、該データ記憶部に記憶された画像信号の内、ダイ毎に得られる画像信号を明るさの順に並び替えるソート処理部及び該ソート処理部で並び替えられたダイ毎の画像信号の内明るさが近いダイの画像信号同士の間の差分をとって差分画像信号を得る差分処理部を備えた比較用画像加工処理部と、第2のしきい値及び該第2のしきい値よりも低い第1のしきい値を設定するしきい値設定部と、前記差分処理部から得られる差分画像信号と前記しきい値設定部で設定された第1のしきい値とを比較して該第1のしきい値を越えた欠陥画像信号を得る第1の比較処理部と、該第1の比較処理部から得られる欠陥画像信号を基に欠陥の各種特徴量を抽出して欠陥の各種特徴量データを得る特徴量抽出処理部と、前記差分処理部から得られる差分画像信号と前記しきい値設定部で設定された第2のしきい値とを比較して該第2のしきい値を越えた欠陥を検出して欠陥データを得る第2の比較処理部とを備え、 さらに、前記特徴量抽出処理部から得られる欠陥の各種特徴量データ及び前記第2の比較処理部から得られる欠陥データに基づいて欠陥の種類を分類する欠陥分類処理部を備えたことを特徴とする検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N21/88 J ,  G01B11/30 A ,  G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300F ,  H01L21/66 J

Fターム (86件)：

2F065AA49 ,  2F065CC19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL21 ,  2F065LL24 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065UU05 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ18 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA29 ,  5B057CD02 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC04 ,  5B057DC19 ,  5B057DC32 ,  5B057DC36 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096BA18 ,  5L096CA02 ,  5L096CA14 ,  5L096CA17 ,  5L096CA22 ,  5L096DA04 ,  5L096EA14 ,  5L096EA15 ,  5L096EA16 ,  5L096FA31 ,  5L096FA32 ,  5L096FA35 ,  5L096FA38 ,  5L096FA59 ,  5L096FA64 ,  5L096FA69 ,  5L096GA07 ,  5L096GA10 ,  5L096GA51 ,  5L096GA55 ,  5L096JA03 ,  5L096JA11

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 微小欠陥検出方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-019489   出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
• 欠陥検査装置およびその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-206078   出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
• 欠陥分類器の生成方法および欠陥自動分類方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-047290   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 欠陥検査装置および欠陥検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-252799   出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社