特許
J-GLOBAL ID：200903063186906320
欠陥分類器の生成方法および欠陥自動分類方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-047290
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047939
出願日： 2003年02月25日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】ユーザの欠陥分類要求を明確化し、前記分類要求をシステム内部の分類基準として組み込むことが可能な欠陥分類器の生成方法並びに欠陥自動分類方法を提供する。【解決手段】ユーザの分類要求を満足する欠陥分類器120を生成するために、まず欠陥分類器を複数の分岐要素によって階層的に欠陥分類クラスを分類する決定ツリーを用いて表現する。前記各分岐要素には個別の分類ルールが割り当てられる。前記決定ツリーの構成および分類ルール指定は、各分岐要素毎にユーザによって教示された欠陥サンプルの各種属性分布の状態(各欠陥分類クラスに属する欠陥サンプル間の各種属性毎の分離度も含む)の表示を基に決定される。またユーザの分類要求は、複数の欠陥検査装置101から取得された多様な検査情報をほぼ同時に表示するGUI110を用いてを用いて明確化される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
任意の欠陥検査装置において被検査対象に発生した欠陥を検査して取得される検査情報を基に前記欠陥を分類するための欠陥分類器の生成方法であって、
任意の試料上の欠陥サンプル群を少なくとも任意の欠陥検査装置により検査してサンプル検査情報を取得する検査情報取得ステップと、
画面上において該検査情報取得ステップにより取得されたサンプル検査情報を基に前記任意の試料上における欠陥サンプル群の欠陥属性分布の状態を表示する表示ステップと、画面上において該表示された欠陥属性分布の状態に基づき、欠陥サンプル群の分類クラス要素を分岐要素を介して階層的に展開する決定木における各分岐要素毎に個別の分類ルールを設定する分類ルール設定ステップとを含む決定木設定ステップとを有することを特徴とする欠陥分類器の生成方法。
IPC (4件)：
H01L21/66
, G01N21/956
, G06T1/00
, H01L21/027
H01L21/66 J
, G01N21/956 A
, G06T1/00 305A
, H01L21/30 502V
2G051AA51
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051EC01
, 2G051EC02
, 2G051FA01
, 4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA38
, 4M106DB30
, 5B057AA03
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057DA03
, 5B057DB02
