特許
J-GLOBAL ID：200903041302606505
研磨砥石
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
武石 靖彦
, 村田 紀子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-056869
公開番号（公開出願番号）：特開2004-261942
出願日： 2003年03月04日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】ガラスやシリコン等の硬質材料の平面研磨において良好な研磨面を得るのに適した研磨砥石を提供する。【解決手段】平均粒径0.5〜40μmのダイヤモンドと該ダイヤモンドに対して10〜200体積%の酸化セリウムを混合したものを砥粒として使用し、かつ、フェノール樹脂または(フェノール樹脂+メラミン樹脂)を結合材として使用して製造されたもので、ダイヤモンドの砥粒率が10〜30体積%で、気孔率が30〜70%であることを特徴とする。この際、研磨砥石の圧縮弾性率が100〜4000MPaで、引張り破壊伸びが0.1〜2.0%であることが好ましく、研磨砥石中に存在する気孔の直径は1〜100μmであることが好ましい。【効果】良好な研磨面性状が得られ、後工程での研磨量を減少させ、面ダレ、スクラッチ等のない優れた仕上げ面を得ることができる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
硬質材料の平面を研磨する際に使用される砥石であって、当該砥石が、平均粒径0.5〜40μmのダイヤモンドと該ダイヤモンドに対して10〜200体積%の酸化セリウムを混合したものを砥粒として使用し、かつ、フェノール樹脂、あるいはフェノール樹脂とメラミン樹脂を混合したものを結合材として使用して製造されたものであること、及び、当該砥石中のダイヤモンドの砥粒率が10〜30体積%で、気孔率が30〜70%であることを特徴とする研磨砥石。
IPC (3件)：
B24D3/00
, B24D3/32
, B24D3/34
B24D3/00 330G
, B24D3/00 320A
, B24D3/00 320B
, B24D3/32
, B24D3/34 Z
3C063AA02
, 3C063AB03
, 3C063BA02
, 3C063BB01
, 3C063BB03
, 3C063BB19
, 3C063BC03
, 3C063BC09
, 3C063EE27
, 3C063FF20
, 3C063FF23
, 3C063FF30
