特許
J-GLOBAL ID：200903041391388796

圧電アクチュエータ

発明者：
長屋 年厚

長屋 年厚 について

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野々山 龍彦

野々山 龍彦 について

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中村 雅也

中村 雅也 について

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齋藤 康善

齋藤 康善 について

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▲高▼尾 尚史

▲高▼尾 尚史 について

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本間 隆彦

本間 隆彦 について

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鷹取 一雅

鷹取 一雅 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について

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株式会社豊田中央研究所

株式会社豊田中央研究所 について


代理人 (2件)： 高橋 祥泰 ,  岩倉 民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-228396
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108638
出願日： 2005年08月05日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】圧電アクチュエータの駆動方式によらず、変位の温度依存性を小さくすることができる圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】圧電セラミックスの表面に一対の電極を形成してなる圧電素子2を駆動源として有する圧電アクチュエータ1である。圧電アクチュエータ1は、下記の要件(a)〜(c)の内、少なくとも一つ以上の要件を満足する。 (a)見かけの動的容量の温度変化による変動幅WC[%]が、温度-30〜80°Cという特定温度範囲において±11%以内であること。 (b)変位Lの温度変化による変動幅WLが、温度-30〜80°Cという特定温度範囲において±14%以内であること。 (c)見かけの動的容量をC[F]、変位をL[μm]とすると、L/Cの温度変化による変動幅WL/Cが、温度-30〜80°Cという特定温度範囲において±12%以内であること。【選択図】図36
請求項（抜粋）：
圧電セラミックスの表面に一対の電極を形成してなる圧電素子を駆動源として有する圧電アクチュエータであって、 上記圧電アクチュエータに電圧を印加して、電界強度100V/mm以上の一定の振幅を有する電界駆動条件で駆動させた場合に、上記圧電アクチュエータは、下記の要件(a)〜(c)の内、少なくとも一つ以上の要件を満足することを特徴とする圧電アクチュエータ。 (a)上記圧電アクチュエータの見かけの動的容量をC[F]とすると、下記の式(1)で表される見かけの動的容量の温度変化による変動幅WC[%]が、温度-30〜80°Cという特定温度範囲において±11%以内であること(ただし、上記見かけの動的容量は、上記圧電アクチュエータとコンデンサとを直列に接続し、上記圧電アクチュエータ及び上記コンデンサに電圧を印加したときに、上記コンデンサに蓄積される電荷量Q[C]を上記圧電アクチュエータに印加された電圧V[V]で除すことによって算出されるものである)。 WC(%)=[{2×Cmax/(Cmax+Cmin)}-1]×100・・・(1) (ただし、Cmaxは、温度-30〜80°Cにおける見かけの動的容量の最大値、Cminは、温度-30〜80°Cにおける見かけの動的容量の最小値を表す) (b)上記圧電アクチュエータの変位をL[μm]とすると、下記の式(2)で表される変位Lの温度変化による変動幅WLが、温度-30〜80°Cという特定温度範囲において±14%以内であること。 WL(%)=[{2×Lmax/(Lmax+Lmin)}-1]×100・・・(2) (ただし、Lmaxは、温度-30〜80°Cにおける変位の最大値、Lminは、温度-30〜80°Cにおける変位の最小値を表す) (c)上記圧電アクチュエータの見かけの動的容量をC[F]、上記圧電アクチュエータの変位をL[μm]とすると、下記の式(3)で表されるL/Cの温度変化による変動幅WL/Cが、温度-30〜80°Cという特定温度範囲において±12%以内であること(ただし、上記見かけの動的容量は、上記圧電アクチュエータとコンデンサとを直列に接続し、上記圧電アクチュエータ及び上記コンデンサに電圧を印加したときに、上記コンデンサに蓄積される電荷量Q[C]を上記圧電アクチュエータに印加された電圧V[V]で除すことによって算出されるものである)。 WL/C(%)=[{2×(L/C)max/((L/C)max+(L/C)min)}-1]×100・・・(3) (ただし、(L/C)maxは、温度-30〜80°CにおけるL/Cの最大値、(L/C)minは、温度-30〜80°CにおけるL/Cの最小値を表す)
IPC (4件)：
H01L 41/09 ,  F02M 51/06 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/187
FI (6件)：
H01L41/08 K ,  F02M51/06 N ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 R ,  H01L41/08 S ,  H01L41/18 101J
Fターム (2件)：
3G066AB02 ,  3G066CE27
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (4件)
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