特許
J-GLOBAL ID:200903041447520862
粉末の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-335858
公開番号(公開出願番号):特開平11-314030
出願日: 1998年11月26日
公開日(公表日): 1999年11月16日
要約:
【要約】【課題】 粒度分布のシャープな粉末を得ることができる粉末の製造方法を提供する。【解決手段】 セラミック材料の前駆体となる液体を吐出して微小液滴を形成した後、微小液滴を加熱処理する。これにより、2次粒子径が10〜180μmで、その粒度分布が平均粒径に対して±10%以内に90%以上の粒子が存在するセラミック粉末を得る。液体噴射装置は、液体を噴射させる複数のノズル孔12が設けられたノズル部11に対して、ノズル孔12に対応する複数の液体加圧室15が設けられたポンプ部21を接合し、液体加圧室15の壁部の一部を圧電/電歪素子22によって変形させて液体加圧室15に圧力を生じさせることにより、液体加圧室15に供給される液体を、ノズル孔12から噴射させるようにした装置で、ノズル部11及びポンプ部21をジルコニアセラミックスで構成した。
請求項(抜粋):
セラミック材料の前駆体となる液体を吐出して微小液滴を形成した後、該微小液滴を加熱処理することにより、2次粒子径が10〜180μmで、その粒度分布が平均粒径に対して±10%以内に90%以上の粒子が存在するセラミック粉末を得ることを特徴とする粉末の製造方法。
IPC (5件):
B01J 2/04
, B01J 19/00
, B05B 7/00
, C01B 13/34
, H01L 41/09
FI (5件):
B01J 2/04
, B01J 19/00 N
, B05B 7/00
, C01B 13/34
, H01L 41/08 C
引用特許: