特許

J-GLOBAL ID：200903041489046710

角速度センサ

発明者： 石川 隆之 ,  早川 順二
出願人/特許権者： 株式会社日本自動車部品総合研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275202
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083750
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】 調整用電極を別途必要とすることなく、検知共振周波数の調整が可能な静電容量検出回路を提供する。【解決手段】 可動電極1a〜1dを有し、平面基板表面において、2軸直交座標方向に変位可能に支持されてなる振動子1と、振動子の可動電極1a〜1dと対向する固定電極2a〜2dを有してなる固定部2とを備え、振動子1を2軸直交座標方向の一方に振動させると共に、可動電極1a〜1d及び固定電極2a〜2dによって、振動子1に対する振動方向及び検知方向に静電容量を形成し、該静電容量変化を検出することで角速度検出を行う角速度センサにおいて、可動電極1a〜1dと固定電極2a〜2dとの間に印加するキャリア信号PW3、PW4の電圧値を可変にする第1、第2電圧調整回路部12a、12bを備える。

請求項（抜粋）：

可動電極(1a〜1d)を有し、平面基板表面において、2軸直交座標方向に変位可能に支持されてなる振動子(1)と、前記振動子の可動電極と対向する固定電極(2a〜2d)を有してなる固定部(2)とを備え、前記振動子を前記2軸直交座標方向の一方に振動させると共に、該振動させる方向を振動方向、前記平面基板表面において前記振動方向に垂直をなす方向を検知方向とすると、前記可動電極及び前記固定電極によって、前記振動子に対する振動方向及び前記検知方向に静電容量を形成し、該静電容量変化を検出することで角速度検出を行う角速度センサにおいて、前記可動電極と前記固定電極との間に印加するキャリア信号電圧(PW3、PW4)を可変にする電圧調整回路部(12a、12b)を備えていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 21/02

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 21/02

Fターム (3件)：

2F105BB02 ,  2F105CD03 ,  2F105CD11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-196404   出願人：日産自動車株式会社
• マイクロ振動体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-363559   出願人：株式会社村田製作所