特許
J-GLOBAL ID：200903044519701270

角速度センサ

発明者：
三田村 健

三田村 健 について


出願人/特許権者：
日産自動車株式会社

日産自動車株式会社 について


代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196404
公開番号（公開出願番号）：特開平9-042973
出願日： 1995年08月01日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】半導体技術により高感度、高精度で、外乱加速度その他のノイズの影響を受け難く小形軽量な角速度センサを量産して低原価で提供することにある。【解決手段】基板と、基板主面上に隔離形成され直交する第1軸と第2軸の方向に振動する振動質量と、振動質量を支持し第1軸と第2軸に対称に配置され両軸方向に等しいバネ定数を持つ少なくとも2つの支持部と、基板に固定され振動質量を第1軸方向に駆動する駆動電極、駆動手段と、基板に固定され振動質量の第2軸方向の変位を検出する検出電極、検出手段で構成され、振動質量と支持部を共通電位に保持し、駆動電極を複数の電圧値を印加可能に分割し、振動質量を第1軸方向に振動させながら基板の主面に垂直な第3軸の回りに回転させたとき第2軸方向に生ずるコリオリ力を検出して第3軸回りの角速度を測定するようにした。
請求項（抜粋）：
基板と、基板主面上に隔離して形成され基板主面内の互いに直交する第1軸と第2軸の方向に振動する振動質量と、一端が振動質量に他端が基板に固定されて振動質量を支持し第1軸と第2軸の方向に対称に配置され両軸の方向に等しいバネ定数を有する少なくとも2つの支持部と、基板に固定され振動質量を第1軸方向に駆動する駆動電極および駆動手段と、基板に固定され振動質量の第2軸方向の変位を検出する検出電極および検出手段とにより構成され、振動質量と支持部を共通電位に保持し、駆動電極を複数の値の電圧を印加できるように分割し、振動質量を第1軸方向に駆動して振動させながら基板の主面に垂直な第3軸の回りに回転させたとき第2軸方向に生ずるコリオリ力を検出することにより第3軸の回りの角速度を測定するようにしたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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