特許
J-GLOBAL ID：200903041512975988
テープ貼付方法およびテープ貼付装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 廣瀬 繁樹
, 西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-178411
公開番号（公開出願番号）：特開2006-005080
出願日： 2004年06月16日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
【課題】 ウェーハへの圧力をテープ貼付手段移動時に関係なく精密に等しくする。【解決手段】 テープ(3)をウェーハ(20)に貼付けるテープ貼付方法において、ウェーハをテーブル(31)上に支持し、テープをテープ供給手段(42)によってウェーハのテープ貼付面(20’)とテープ貼付手段(46)との間に供給し、テーブルをテープ貼付手段に向かって移動させ、それにより、テープを介してテーブル上のウェーハのテープ貼付面をテープ貼付手段に押付けて力(F)を掛けるようにし、さらに、テープ貼付手段をウェーハの一端(28)から他端(29)までウェーハのテープ貼付面に対して平行に移動させ、ウェーハのテープ貼付面がテープを介してテープ貼付手段に接触するときのテープ貼付面の圧力(P)が、テープ貼付手段がウェーハの一端から他端まで移動するときに概ね一定になるテープ貼付方法およびこの方法を実施するテープ貼付装置が提供される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
テープをウェーハに貼付けるテープ貼付装置において、
前記テープが貼付けられる前記ウェーハのテープ貼付面に対して垂直に移動可能であって前記ウェーハを支持する可動テーブルと、
前記ウェーハの一端から他端まで前記ウェーハの前記テープ貼付面に対して平行に移動して前記テープを前記ウェーハに貼付けるテープ貼付手段と、
前記テープを前記ウェーハのテープ貼付面と前記テープ貼付手段との間に供給するテープ供給手段とを具備し、
前記可動テーブルを前記テープ貼付手段に向かって該テープ貼付手段に対して垂直方向に進退自在とすることにより前記テープを介して前記可動テーブル上の前記ウェーハの前記テープ貼付面を前記テープ貼付手段に押付けて押付力を掛けると共に、
前記テープ貼付手段が前記ウェーハの一端から他端まで移動するとき、前記ウェーハの前記テープ貼付面が前記テープを介して前記テープ貼付手段に接触する前記テープ貼付面の面圧力が概ね一定になるようにしたテープ貼付装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683
, H01L 21/304
, H01L 21/301
H01L21/68 N
, H01L21/304 622J
, H01L21/78 M
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA34
, 5F031MA37
