均熱装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大岩増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-035399
公開番号（公開出願番号）：特開2000-236013
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】発熱体と定盤との密着性が甘く、熱の伝わり方にむらが生じ、結果的に温度むらを減少させることが難しかった。【解決手段】定盤(第1の板状部材)1の内部に同心円状に配置された複数の円形流通路2からなる流通路3を設け、この流通路3内を真空排気したのち作動液4を充填する。さらに発熱体6を複数の円形流通路2に沿うように設置して、発熱体6の接触性の甘さに起因する温度むらを作動液4またはその蒸気の流動によって平均化し、定盤1の表面温度むらを低減する。

請求項（抜粋）：

加熱又は冷却する対象物を載置する略円形の第1の面と、この第1の面の裏面であって溝状で同心円状に配置された複数の円形流通路と、これらの円形流通路を互いに連通する溝状の半径方向流通路とが形成された第2の面とを有する第1の板状部材、前記両流通路を覆うように前記第1の板状部材の第2の面に一つの面が接合される第2の板状部材、前記両流通路内を真空排気した上、この両流通路内に充填された作動液とを備えた均熱装置であって、前記第2の板状部材の他の面に接して前記複数の円形流通路に沿って配置された発熱体または冷却管を備えたことを特徴とする均熱装置。

Fターム (3件)：

5F031CA02 , 5F031HA37 , 5F031HA38

引用特許：

審査官引用 (9件)

均熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-263171 出願人：三菱電機株式会社
薄膜製造装置用加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-296165 出願人：日本酸素株式会社
特開平4-239120

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