特許
J-GLOBAL ID：200903041551959655

半導体集積回路の配線間隔決定装置、自動配置配線装置、自動配置配線装置のためのルール作成装置、半導体集積回路の配線間隔決定方法、自動配置配線方法および自動配置配線方法のためのルール作成方法。

発明者：
瀧野 泰三

瀧野 泰三 について

, 
村上 雅映

村上 雅映 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-215601
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031661
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：
【要約】【課題】 早期にかつ飛躍的に半導体集積回路の品質または歩留まりを向上させることに貢献する。【解決手段】 工場1で配線間隔の異なる半導体集積回路の製品または試料を製造したことにより得られた歩留まりに関する歩留まり情報2に基づいて、情報解析装置4が歩留まりと配線間隔の関係を表す関数情報を作成する。また、情報解析装置4は、作成された関数情報と、所望の歩留まりを表す閾値情報5に基づいて、最適配線間隔6を決定する。最適配線間隔6は自動配置配線装置での工程に利用される。
請求項（抜粋）：
配線間隔の異なる半導体集積回路を製造したことにより得られた歩留まりに関する歩留まり情報に基づいて、歩留まりと配線間隔の関係を表す関数情報を作成する関数情報作成部と、上記関数情報作成部により作成された上記関数情報と、所望の歩留まりを表す閾値情報に基づいて、最適な配線間隔を決定する決定部を備えた半導体集積回路の配線間隔決定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/82 ,  G06F 17/50 658 ,  G06F 17/50
FI (5件)：
G06F 17/50 658 M ,  G06F 17/50 658 N ,  H01L 21/82 W ,  H01L 21/82 C ,  H01L 21/82 T
Fターム (20件)：
5B046AA08 ,  5B046BA05 ,  5B046BA06 ,  5B046CA06 ,  5B046GA01 ,  5B046JA03 ,  5B046JA07 ,  5F064BB35 ,  5F064EE02 ,  5F064EE03 ,  5F064EE14 ,  5F064EE15 ,  5F064EE43 ,  5F064EE45 ,  5F064EE46 ,  5F064EE47 ,  5F064EE51 ,  5F064HH02 ,  5F064HH06 ,  5F064HH10
引用特許：
審査官引用 (3件)

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