特許
J-GLOBAL ID：200903041645765900

複数の光源を使用する照明装置、照明制御装置及び方法、並びに、露光装置

発明者：
川島 春名

川島 春名 について

, 
磯部 一仁

磯部 一仁 について

, 
古田 和紀

古田 和紀 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256239
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075824
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、複数の光源を使用して各光源から出射した光束を合成して照明すると共に各光源の光量を高精度に測定する照明装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の照明装置は、複数の光源から各々出射された複数の光束を合成する第1の光学系と、前記第1の光学系によって合成された光束から前記複数の光束の一を分離する第2の光学系と、前記第2の光学系によって分離された前記一の光束の光量を検出する第1の検出部とを有する。かかる照明装置によれば、第2の光学系によって分離された一の光束の光量に基づいて対応する光源の光量を高精度に測定することができる。
請求項（抜粋）：
複数の光源から出射した光束を用いて被照明面を照明する照明装置であって、前記複数の光源から各々出射された複数の光束を合成する第1の光学系と、前記第1の光学系によって合成された光束から前記複数の光束の一を分離する第2の光学系と、前記第2の光学系によって分離された前記一の光束の光量を検出する第1の検出部とを有する照明装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (2件)：
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D
Fターム (4件)：
5F046BA05 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DB10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM