薄型基板搬送用ロボットおよび薄型基板検出方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148970
公開番号（公開出願番号）：特開2002-224982
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年08月13日
要約：

【要約】【課題】薄型基板の収納状態を効率良く検出する薄型基板搬送搬送用ロボットを提供する。また、薄型基板の収納状態を精度良く検出する薄型基板検出方法を提供する【解決手段】収納カセット2に収納された複数の薄型基板3を収納カセット2から搬出する薄型基板搬送用ロボット5において、収納カセット2内の薄型基板3の収納状態を検出する検出用カメラ1 を薄型基板搬送用ロボット5に取り付ける。

請求項（抜粋）：

収納カセットに収納された複数の薄型基板を前記収納カセットから搬出する薄型基板搬送用ロボットにおいて、前記収納カセット内の前記薄型基板の収納状態を検出するカメラを前記薄型基板搬送用ロボットに取り付けたことを特徴とする薄型基板搬送用ロボット。

IPC (4件)：

B25J 13/08 , B25J 19/04 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (5件)：

B25J 13/08 A , B25J 19/04 , B65G 49/07 C , H01L 21/68 A , H01L 21/68 G

Fターム (31件)：

3C007AS03 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007CT04 , 3C007CT05 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007KS04 , 3C007KT01 , 3C007KT04 , 3C007KT05 , 3C007LT06 , 3C007MT03 , 3C007NS13 , 5F031CA01 , 5F031DA01 , 5F031DA08 , 5F031EA14 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031GA02 , 5F031GA36 , 5F031GA43 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031JA04 , 5F031JA13 , 5F031JA25 , 5F031NA07

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-344503
特開平4-344503
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-311821 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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