特許
J-GLOBAL ID：200903041792049072

変調器回路

発明者：
ビーランド、マルコ・ヤン-ヤコ

ビーランド、マルコ・ヤン-ヤコ について

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バント・スピーカー、ヨハネス・クリスティアーン

バント・スピーカー、ヨハネス・クリスティアーン について

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ハベコッテ、エルンスト

ハベコッテ、エルンスト について

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バン・デル・ビルト、フロリス・ペピーン

バン・デル・ビルト、フロリス・ペピーン について


出願人/特許権者：
マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. について


代理人 (11件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-521798
公開番号（公開出願番号）：特表2007-505332
出願日： 2004年07月23日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
本発明は、複数小ビームリソグラフィシステムにおける小ビームの大きさを変調するための変調器に関する。この変調器は、小ビームの方向に影響を与えるための少なくとも1つの手段と、変調された光ビームからの光を受けこの光を信号へと変換するための受光素子と、この受光素子から受けた信号を、所定の離散値の組から選択された離散値を有する離散的な信号へと変換し、この離散的な信号を影響を与えるための手段に提供するために、受光素子と少なくとも1つの影響を与えるための手段とに結合している離散化手段とを有している。
請求項（抜粋）：
小ビームの方向に影響を与えるための少なくとも1つの手段と、 変調された光ビームからの光を受け、この光を信号に変換するための受光素子と、 前記受光素子と少なくとも1つの影響を与えるための手段とに動作的に結合し、この受光素子から受けた前記信号を所定の離散値の組から選択された離散値を有する離散的な信号へと変換し、この離散的な信号を前記影響を与えるための手段に提供するための、離散化手段とを具備する複数小ビームリソグラフィシステムにおける小ビームの大きさを変調するための変調器。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/20 504 ,  H01L21/30 529 ,  H01L21/30 541W
Fターム (11件)：
2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097BB10 ,  2H097CA16 ,  5F046BA07 ,  5F046CB01 ,  5F046CB04 ,  5F046GA14 ,  5F056AA33 ,  5F056BA04 ,  5F056EA03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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