セラミックグリーンシートの加工方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-332082
公開番号（公開出願番号）：特開平7-193374
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】脆弱なセラミックグリーンシートに高精度でスルーホール等を形成できる加工方法を提供すること。【構成】レーザ光源1と、所定の透光部を有するマスク3と、セラミックグリーンシートGSを支持するテーブル5とを配置し、レーザ光源1からマスク3に向けて透光部よりも大径のレーザ光Rを照射して該透光部を通過した光をシートGSに所定形状で照射させ、テーブル5によってシートGSを所定方向に移動させながら上記のレーザ光照射を繰り返してスルーホール等をシートGSに形成しているので、加工時に従来のような機械的振動及び衝撃がシートGSに加わることがなく、また接触を原因とした位置ずれや変形を該シートGSに生じることがない。

請求項（抜粋）：

積層型電子部品用のセラミックグリーンシートに所定数のスルーホールを形成する加工方法であって、レーザ光源と、所定の透光部を有するマスクと、セラミックグリーンシートを支持するテーブルとを配置し、レーザ光源からマスクに向けて透光部よりも大径のレーザ光を照射して該透光部を通過した光をセラミックグリーンシートに所定形状で照射させ、テーブルによってセラミックグリーンシートを所定方向に移動させながら上記のレーザ光照射を繰り返す、ことを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。

IPC (7件)：

H05K 3/46 , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 , B23K 26/10 , B23K 26/16 , H01F 17/00 , H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-074792
パルスレーザ加工機
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-074181 出願人：日立建機株式会社
光処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-109403 出願人：三菱電機株式会社

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