プローブ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-326328
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147070
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】プローブを所望の位置へ簡単に移動でき、装置に表示される操作手順に従って操作を行えるプローブ装置を提供する。【解決手段】プローブを表示する画像、およびプローブ移動操作を行う表示部を設け、画像内で所望の位置と現プローブ位置を指定する。また、表示部内に装置の操作手順を示す操作手順指示部を設ける。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームの照射光学系と、前記荷電粒子ビームの照射によって試料から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出器と、前記試料を載置する試料ステージと、前記試料に必要に応じて接触できるプローブと、前記プローブを移動させるプローブ制御部とを少なくとも有するプローブ装置であって、必要に応じてプローブに所望の動きをさせるための情報を示すプローブ情報画面を表示する表示部を有しており、前記表示部の前記プローブ情報画面に前記試料および前記プローブを表示し、また、前記表示部に前記プローブを移動させるためのプローブ操作画面領域を表示し、さらに前記プローブ操作画面領域の操作信号により、前記プローブ制御部を介して前記プローブを移動させる機能を有し、前記プローブの前記プローブ情報画面内に表示された前記プローブ先端部の現在位置と、前記プローブ先端部の移動目標位置を前記プローブ情報画面内でそれぞれ指定する操作を行なうことにより、前記プローブ先端部の現在位置から前記移動目標位置までの移動量を計算し、前記移動量だけ前記プローブ制御部を動作させて、前記プローブを前記移動目標位置に移動させる機能を有することを特徴とするプローブ装置。

IPC (3件)：

G01R 31/302 , G01N 23/225 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/28 L , G01N 23/225 , H01L 21/66 C

Fターム (34件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA11 , 2G001HA01 , 2G001JA02 , 2G001JA06 , 2G001JA13 , 2G001JA20 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G032AF02 , 2G032AF03 , 2G032AF04 , 2G032AF08 , 4M106AA02 , 4M106BA02 , 4M106BA03 , 4M106BA14 , 4M106DH01 , 4M106DH24 , 4M106DH33 , 4M106DH50 , 4M106DH60 , 4M106DJ01 , 4M106DJ11 , 4M106DJ23 , 9A001HH24 , 9A001LL05

引用特許：

審査官引用 (3件)

荷電粒子線試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-300621 出願人：株式会社アドバンテスト
回路基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-187406 出願人：グラフテック株式会社
X-Y方式インサーキットテスタの実装部品の高さに対応するプローブ位置調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-022147 出願人：日置電機株式会社

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