特許
J-GLOBAL ID：200903041946734954
原子/分子ビームの3次元速度分布測定方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北川 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-113645
公開番号（公開出願番号）：特開2009-264873
出願日： 2008年04月24日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：
【課題】中性原子ビームや中性分子ビームの3次元速度分布を計測し、それらの流速、流量、角度分布を厳密に評価できる方法及び装置を提供する。【解決手段】(1)試料の中性原子ビーム又は中性分子ビームを発生させる工程と、(2)送出された中性ビームからイオンを生成させて垂直の方向に引き出し、速度ごとに異なる位置に集束させる工程と、(3)イオンを位置敏感型検出器に衝突させて中性ビームの速度分布を投影させ、得られた画像に数値変換を施して中性ビームの3次元速度分布を決定する工程とを含む原子/分子ビームの3次元速度分布測定方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
以下(1)〜(3)の工程を含むことを特徴とする原子/分子ビームの3次元速度分布測定方法。
(1)試料充填容器中の試料を加熱して蒸発させると共に、気体状態で低気圧側空間に噴出させることにより、試料の中性原子ビーム又は中性分子ビームを発生させる中性ビーム送出工程。
(2)送出された中性原子ビーム又は中性分子ビームからイオンを生成させ、生成したイオンを撮像レンズ系で中性原子ビームまたは中性分子ビームの進行方向とは垂直の方向に引き出し、電場勾配がないイオン飛行管の中を一定時間飛行させて、中性ビーム状態時の3次元速度ごとに異なる位置に集束させるイオン生成・輸送工程。
(3)輸送されたイオンを位置敏感型検出器に衝突させて中性原子ビーム又は中性分子ビームの速度分布を投影させ、得られた画像に数値変換を施すことでこれら中性ビームの3次元速度分布を決定する画像検出処理工程。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2G001AA03
, 2G001BA06
, 2G001CA04
, 2G001DA02
, 2G001GA03
, 2G001KA13
, 2G001QA01
