特許

J-GLOBAL ID：200903041948434850

弾性表面波素子

発明者： 平工 達也 ,  金子 明 ,  今西 正夫
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-089821
公開番号（公開出願番号）：特開2001-285019
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】 安価で容易に入手し得る素材を用いて電気機械結合係数K2 で表される伝送特性の優れた弾性表面波素子を得る。【解決手段】 弾性表面波素子11は、LiTaO3 結晶がエピタキシャル成長可能なAl2O3の単結晶からなる下地基板12と、この下地基板上に成膜された前記LiTaO3 結晶からなるバッファ層13と、このバッファ層上に成膜されたKNbO3 単結晶からなる圧電体層14と、この圧電体層に接して配設された入力側電極15aおよび出力側電極15bとからなる。

請求項（抜粋）：

LiTaO3 結晶がエピタキシャル成長可能な下地基板と、この下地基板上に成膜された前記LiTaO3 結晶からなるバッファ層と、このバッファ層上に成膜されたKNbO3 単結晶からなる圧電体層と、この圧電体層に接して配設された電極とを有することを特徴とする弾性表面波素子。

Fターム (8件)：

5J097AA06 ,  5J097AA28 ,  5J097AA31 ,  5J097FF02 ,  5J097FF04 ,  5J097FF05 ,  5J097HA03 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-292646   出願人：山之内和彦, ヤマハ株式会社
• 弾性表面波モジュール素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-184844   出願人：松下電器産業株式会社