レーザ光発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247707
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062555
出願日： 2000年08月17日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】有効なレーザ光として得られる高調波の出力を低下させることなく、高調波の出力を適切にモニタリングすると共に、部品点数を削減してコストダウンを実現する。【解決手段】高調波である深紫外レーザ光が非線形光学素子28の出射面28aから出射される際に、この出射面28aにて反射され、一側面28cを透過して非線形光学素子28の外部に出射された一部の深紫外レーザ光の強度を、光検出器40にて検出する。そして、光検出器40からの検出信号に応じて、レーザ出力自動制御等のレーザ制御を行う。

請求項（抜粋）：

基本波を発生させる基本波発生手段と、非線形光学素子を用いた光共振器を備え、上記基本波発生手段より発生した基本波を上記非線形光学素子の内部に入射させ、この非線形光学素子の内部で発生した高調波を非線形光学素子の出射面から出射させて上記光共振器の外部に取り出す高調波発生手段と、上記非線形光学素子の出射面にて反射された一部の高調波の強度を検出する検出手段とを備えることを特徴とするレーザ光発生装置。

IPC (3件)：

G02F 1/37 , H01S 3/108 , H01S 3/131

FI (3件)：

G02F 1/37 , H01S 3/108 , H01S 3/131

Fターム (16件)：

2K002AB12 , 2K002CA02 , 2K002CA03 , 2K002DA01 , 2K002EA02 , 2K002EA11 , 2K002EA30 , 2K002EB15 , 2K002HA20 , 5F072AB02 , 5F072HH02 , 5F072JJ05 , 5F072KK12 , 5F072MM12 , 5F072PP07 , 5F072QQ02

引用特許：

審査官引用 (4件)

レーザ光発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-006033 出願人：ソニー株式会社
特開平3-185778
出力安定化第二高調波光源
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-034773 出願人：日立金属株式会社

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