特許
J-GLOBAL ID：200903042052153913
結晶成長炉及び結晶成長方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-196772
公開番号（公開出願番号）：特開2003-081688
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：
【要約】【課題】 シール部分に熱的な悪影響を及ぼすことがなく,気密性に優れ,しかもメンテナンスも容易な結晶成長炉を提供する。【解決手段】 るつぼ12内の溶融液aを引き上げながら固化させて結晶を成長させる結晶成長炉1であって,るつぼ12内に入れられた溶融液aの上方に配置される輻射熱シールド20を昇降部材31に支持し,かつ,この昇降部材31を炉容器10の底面に貫通させて,炉容器10の外に配置した昇降機構32に接続した。
請求項（抜粋）：
るつぼ内の溶融液を引き上げながら固化させて結晶を成長させる結晶成長炉であって,るつぼ内に入れられた溶融液の上方に配置される輻射熱シールドを昇降部材に支持し,かつ,この昇降部材を炉容器底面に貫通させて,炉容器外に配置した昇降機構に接続してなる,結晶成長炉。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 15/00 Z
, C30B 29/42
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG19
, 4G077EH06
, 4G077PA16
, 4G077PF55
