特許
J-GLOBAL ID：200903042060041288
力学量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-135170
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327657
出願日： 1995年06月01日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】検出精度が高く、しかも小型化された力学量センサを提供する。【構成】与えられた力学量に応じて撓み量が変化する可撓部51と、ピエゾ抵抗91〜102を含んで構成され、かつ、可撓部51の撓み量を検出する検出回路と、検出回路の検出結果を力学量に変換する際に用いられる変換情報を記憶するための記憶部64と、予め定めた基準力学量が与えられたときの検出回路の検出結果に基づいて、前記変換情報を生成し、これを記憶部64に記憶する変換情報生成部61と、記憶部64に記憶された変換情報を用いて、検出回路の検出結果を力学量に変換する力学量変換部62とを有する。
請求項（抜粋）：
与えられた力学量に応じて撓み量が変化する可撓部が形成された半導体基板を有する力学量センサにおいて、前記可撓部には、前記撓み量を検出するための検出部が形成され、前記半導体基板には、さらに、前記検出部の検出結果を力学量に変換する際に用いられる変換情報を記憶するための記憶部と、予め定めた基準力学量が与えられたときの前記検出部の検出結果に基づいて、前記変換情報を生成し、これを前記記憶部に記憶する変換情報生成部と、前記記憶部に記憶された変換情報を用いて、前記検出部の検出結果を力学量に変換する力学量変換部とが形成されていることを特徴とする力学量センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/12
, G01L 1/18
, H01L 29/84
G01P 15/12
, G01L 1/18
, H01L 29/84 A
