特許
J-GLOBAL ID：200903042102670710
順応型回折格子装置を具備した空間光変調器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-018776
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215317
出願日： 2001年01月26日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、回折方向が配列方向と直交している広いアクティブ領域を備え、高速で効率的に光を離散した次数へ回折でき、CMOS製造プロセスに適合した回折格子装置のリニア配列の提供を目的とする。【解決手段】 本発明の入射光ビームを回折によって変調する機械式回折格子装置は、光反射面を含む細長い素子と、細長い素子を基板の両端で支える一対の端部支持体と、一対の端部支持体の間にある少なくとも一つの中間部支持体と、第1の動作状態と第2の動作状態の間で細長い素子を変形させるため細長い素子に力を加える手段とを有する。
請求項（抜粋）：
光反射面を含む細長い素子と、上記細長い素子を基板の両端で支える一対の端部支持体と、上記一対の端部支持体の間にある少なくとも一つの中間部支持体と、第1の動作状態と第2の動作状態の間で上記細長い素子を変形させるため上記細長い素子に力を加える手段と、を有し、入射光ビームを回折によって変調する機械式回折格子装置。
引用特許：
前のページに戻る
