特許
J-GLOBAL ID：200903042133030107

リンス液

発明者：
野本 昌吾

野本 昌吾 について


出願人/特許権者：
花王株式会社

花王株式会社 について


代理人 (1件)： 細田 芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-299168
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107744
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】【課題】微細なレジストパターンにおいても、現像プロセスにおけるリンス工程において発生する現像欠陥を改善しうるリンス液を提供すること。【解決手段】炭素数1〜18の炭化水素基を有するモノアルコール、炭素数2〜10の炭化水素基を有する多価アルコール、前記モノアルコール又は多価アルコールのアルキレンオキサイド付加物、置換基を有していてもよいフェノール化合物のアルキレンオキサイド付加物(但し、置換基を有していてもよいフェノール化合物の炭素数は6〜27である)、並びにアミンのアルキレンオキサイド付加物であって、アミンが炭素数1〜10の炭化水素基及び1級もしくは2級アミノ基を有する1〜4価アミンである化合物からなる群より選ばれた1種以上を水中に含有してなるリンス液、並びに該リンス液を用いるリンス方法。
請求項（抜粋）：
炭素数1〜18の炭化水素基を有するモノアルコール、炭素数2〜10の炭化水素基を有する多価アルコール、前記モノアルコール又は多価アルコールのアルキレンオキサイド付加物、置換基を有していてもよいフェノール化合物のアルキレンオキサイド付加物(但し、置換基を有していてもよいフェノール化合物の炭素数は6〜27である)、並びにアミンのアルキレンオキサイド付加物であって、アミンが炭素数1〜10の炭化水素基及び1級もしくは2級アミノ基を有する1〜4価アミンである化合物からなる群より選ばれた1種以上を水中に含有してなるリンス液。
IPC (2件)：
G03F 7/32 501 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/32 501 ,  H01L 21/30 569 E
Fターム (9件)：
2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096BA11 ,  2H096EA03 ,  2H096EA05 ,  2H096EA23 ,  2H096GA08 ,  2H096GA18 ,  5F046LA12
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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