特許

J-GLOBAL ID：200903042225835659

基板処理装置及び方法

発明者： 中島 保典
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336712
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177981
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】 自動運転から手動運転に切り換えた後に再度自動運転への切り換えを可能とする基板処理装置を提供すること。【解決手段】 一連の処理を行う処理シーケンスにおいてトラブル修復のために自動運転を中断して手動運転に切り換えた場合でも自動運転による処理状況を表現した基板データを保持しておくように構成する。自動運転中に何らかのトラブルが発生し、搬送ロボットが自動で基板の搬送を行うことができなくなった場合に、一旦、手動運転に切り換えた後(ステップS5)にトラブル修復作業(ステップS12)を行い、そのトラブルが解消した後に、基板データに基づいて再び自動運転を再開することが可能となる。

請求項（抜粋）：

処理対象の基板が複数の処理部を経由して所定の一連の処理が順次に行われる基板処理装置であって、前記基板に対する前記処理の進行に伴って順次に前記基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段による前記基板の搬送に伴って前記基板に対応する基板処理情報を更新する更新手段と、前記更新手段によって更新された基板処理情報を記憶保持する記憶手段と、自動運転によって前記基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出する検出手段と、前記検出手段によって前記基板を順次に搬送することが不可能となったことを検出した後に自動運転を手動運転に切り換える切換手段と、を備え、前記切換手段によって自動運転から手動運転に切り換えられた後にも前記記憶手段において前記基板処理情報を保持し続けることを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/68 ,  G05B 7/02

FI (4件)：

H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/68 A ,  G05B 7/02 M

引用特許：

審査官引用 (3件)

• シングルループ調節計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-116037   出願人：株式会社島津製作所
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-093655   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開昭63-202513