特許

J-GLOBAL ID：200903042240319632

アッベ誤差補正装置及び方法

発明者： ドナルド アール カットラー
出願人/特許権者： エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-552159
公開番号（公開出願番号）：特表2003-523567
出願日： 2001年01月05日
公開日（公表日）： 2003年08月05日
要約：

【要約】本発明は、非接触の微小移動容量センサ(124,128,130,131)を使用して、リニアスケールエンコーダ又はレーザ干渉計のような軸線上位置インジケータによって表示されない線形的機械的ステージ(56,58)のピッチ(20)、ヨー(22)又はロール(18)により生ずるアッベ誤差を決定する。この装置は精密な基準に対して較正し、センサ読み取りにおける僅かな変化にのみに修正が左右され、センサ読み取りの絶対精度に左右されないようにする。本発明は、慣性的に分離されたステージ(56,58)を有する軸系分離式の位置決め装置(50)に使用するのに好適であるが、製造コストを低減するため典型的な軸系分離式の又はスタック式のステージシステムに使用することができる。

請求項（抜粋）：

位置決めコマンドに応答してワークピース上の目標位置に対してツールを位置決めする位置決め装置において、 ほぼ第1の軸線に沿って移動することができる並進ステージを有してする前記ツールと前記ワークピースとの間の大きな範囲の相対移動を生じさせる遅速位置決め機構と、 前記ツールと前記ワークピースとの間の小さい範囲の相対移動を生じさせる迅速位置決め機構と、 位置決めコマンドから遅速移動制御信号及び迅速移動制御信号を導き出す位置決め信号プロセッサと、 前記遅速移動制御信号に応答して前記並進ステージの大きな範囲の相対移動を制御する遅速位置決め機構ドライバと、 迅速移動制御信号に応答して迅速位置決め機構の小さい範囲の相対移動を制御する迅速位置決め機構ドライバと、 前記迅速位置決め機構ドライバと通信し、前記軸線に沿う前記並進ステージとともに移動するよう結合した1対の互いに離れた移動センサと、 前記偏心ステージの近傍に位置し、かつ前記軸線に平行な基準面とを具え、前記並進ステージが前記基準面に沿って移動可能とし、また前記移動センサが前記基準面からの相対距離に関する情報を取得することができ、かつこの情報を迅速位置決め機構ドライバに転送して前記並進ステージの軸線からそれる移動又は回転移動に関連する第1のアッベ誤差を補正させることができるようにしたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

G05D 3/12 305 ,  G05D 3/12 ,  G05B 19/404

FI (3件)：

G05D 3/12 305 E ,  G05D 3/12 T ,  G05B 19/404 G

Fターム (23件)：

5H269AB01 ,  5H269AB26 ,  5H269BB03 ,  5H269CC01 ,  5H269DD01 ,  5H269EE01 ,  5H269EE11 ,  5H269GG02 ,  5H269JJ03 ,  5H269JJ19 ,  5H303AA01 ,  5H303AA06 ,  5H303BB03 ,  5H303BB08 ,  5H303BB12 ,  5H303CC03 ,  5H303DD01 ,  5H303EE01 ,  5H303EE03 ,  5H303GG13 ,  5H303KK22 ,  5H303KK27 ,  5H303LL03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 走査型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-189153   出願人：株式会社ニコン
• ステージの調整方法、及び該方法を使用する走査型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-027999   出願人：株式会社ニコン