単結晶引上げ用カーボンヒータ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：波多野久 , 関口俊三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-095236
公開番号（公開出願番号）：特開2004-299968
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】ルツボ内の均一な加熱を可能とし、上下方向の温度分布の制御が容易で、長寿命の単結晶引上げ用カーボンヒータを提供する。【解決手段】本単結晶引上げ用カーボンヒータは、円筒状をなし、上端から下端へ向かう上側スリットと下端から上端へ向かう下側スリットとが交互に設けられた単結晶引上げ用カーボンヒータにおいて、少なくとも外側上端近傍に設けられ、一端が一側に隣接するスリットに達し、他端が他側に隣接するスリットに達する凹部が全周にわたり形成された。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

円筒状をなし、上端から下端へ向かう上側スリットと下端から上端へ向かう下側スリットとが交互に設けられた単結晶引上げ用カーボンヒータにおいて、少なくとも外側上端近傍に設けられ、一端が一側に隣接するスリットに達し、他端が他側に隣接するスリットに達する凹部が全周にわたり形成されたことを特徴とする単結晶引上げ用カーボンヒータ。

IPC (2件)：

C30B15/14 , C30B29/06

FI (2件)：

C30B15/14 , C30B29/06 502E

Fターム (7件)：

4G077AA02 , 4G077BA03 , 4G077CF10 , 4G077EG18 , 4G077PE03 , 4G077PE12 , 4G077PE14

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-305087
特公昭41-007921
特開平4-305087

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