特許
J-GLOBAL ID:200903042423714654

透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-148303
公開番号(公開出願番号):特開平11-322983
出願日: 1998年05月14日
公開日(公表日): 1999年11月26日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 2軸延伸ポリエステル系樹脂フィルムを使用し、更に、プラズマ化学成膜法を利用し、黄変あるいは劣化等がなく、かつ、ア-キング孔のない、有用な透明バリア性フィルムを提供する。【解決手段】 2軸延伸ポリエステル系樹脂フィルム2の一方の面に、プラズマ化学成膜法により、成膜化スピ-ドが、80〜120m/min、プラズマパワ-が、8〜12kW、成膜用モノマ-ガス、酸素ガス、不活性ガス、および、その他からなる成膜用混合ガス組成物における各成分のガス流量が、成膜用モノマ-ガス:酸素ガス:不活性ガス=0.8〜1.2slm(スタンダ-ド リッタ- ミニット、standard litter minute):2.8〜3.2slm:2.8〜3.2slm、真空チャンバ-の真空度が、40〜70μbarの範囲からなる成膜条件で無機酸化物の薄膜を設けた。
請求項(抜粋):
2軸延伸ポリエステル系樹脂フィルムの一方の面に、プラズマ化学成膜法により、少なくとも、成膜化スピ-ドが、80〜120m/min、プラズマパワ-が、8〜12kW、成膜用モノマ-ガス、酸素ガス、不活性ガス、および、その他からなる成膜用混合ガス組成物における各成分のガス流量が、成膜用モノマ-ガス:酸素ガス:不活性ガス=0.8〜1.2slm(スタンダ-ド リッタ- ミニット、standard litter minute):2.8〜3.2slm:2.8〜3.2slm、および、真空チャンバ-の真空度が、40〜70μbarの範囲からなる成膜条件で無機酸化物の薄膜を設けたことを特徴とする透明バリア性フィルム。
IPC (10件):
C08J 7/06 CFD ,  B29C 55/12 ,  B32B 7/02 ,  B32B 9/00 ,  B32B 27/36 ,  B65D 65/18 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 16/40 ,  B29K 67:00 ,  C08L 67:02
FI (8件):
C08J 7/06 CFD Z ,  B29C 55/12 ,  B32B 7/02 ,  B32B 9/00 A ,  B32B 27/36 ,  B65D 65/18 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 16/40
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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