特許
J-GLOBAL ID：200903085415763825
バリアー性フィルムおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米田 潤三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-311308
公開番号（公開出願番号）：特開平8-142252
出願日： 1994年11月22日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】 耐衝撃性に優れ、高いバリアー性を安定して維持するとともに良好な透明性と電子レンジ適性を備えたバリアー性フィルムと、このようなバリアー性フィルムを簡便に製造することのできる製造方法を提供する。【構成】 少なくとも有機珪素化合物の蒸気と酸素とを含有するガスを用いてプラズマCVD法により基材上にバリアー層を形成してバリアー性フィルムとし、バリアー層を珪素酸化物を主体とし、炭素、水素、珪素および酸素のなかの1種類、あるいは2種類以上の元素からなる化合物を少なくとも1種類含有したものとする。
請求項（抜粋）：
基材と、該基材の少なくとも一方の面に設けられたバリアー層とを有し、該バリアー層は珪素酸化物からなるとともに、炭素、水素、珪素および酸素のなかの1種類、あるいは2種類以上の元素からなる化合物を少なくとも1種類含有する連続層であることを特徴とするバリアー性フィルム。
IPC (7件)：
B32B 9/00
, B32B 5/14
, C08J 7/00 306
, C08J 7/04 CFD
, C08J 7/06
, C23C 16/40
, C23C 16/50
