特許
J-GLOBAL ID：200903042432886450

光波干渉計

発明者：
鳴海 達也

鳴海 達也 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-363495
公開番号（公開出願番号）：特開2005-127853
出願日： 2003年10月23日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】本発明の目的は、干渉ノイズの影響を容易に低減することのできる光波干渉計を提供することにある。【解決手段】光学系構成部材として光出射手段16と、ビームスプリッタ18と、参照鏡20と、撮像手段26と、を備えた光波干渉計10において、該ビームスプリッタ18と該撮像手段26との間で該撮像手段26の直前に設けられ、入射光の光量を所定の割合で減少して通過させる光量減少フィルタ29を備え、被測定物30の凹凸情報をもたない干渉ノイズは該撮像手段26での反射光と該光学系構成部材20からの光との合成、干渉により発生し、該干渉ノイズを発生するであろう撮像手段26での反射光は該光量減少フィルタ29、該光学系構成部材20、該光量減少フィルタ29を順に介して該撮像手段26に入射し、主干渉縞を形成する光36,34よりも多くの回数、該光量減少フィルタ29を通過した後に該撮像手段26に入射することを特徴とする光波干渉計10。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光学系構成部材として光出射手段と、ビームスプリッタと、参照鏡と、撮像手段と、を備え、光出射手段からの可干渉光を、ビームスプリッタにより参照鏡を照射する光、及び被測定物を照射する光に分割し、該参照鏡からの反射光、及び被測定物からの反射光をビームスプリッタで合成し、その干渉縞を撮像手段で撮像し、撮像手段で得られた干渉縞画像に基づいて被測定物の凹凸情報を得る光波干渉計において、 前記ビームスプリッタと前記撮像手段との間で該撮像手段の直前に設けられ、入射光の光量を所定の割合で減少して通過させる光量減少フィルタを備え、 前記被測定物の凹凸情報をもつ主干渉縞は、前記参照鏡からの反射光と該被測定物からの反射光の合成、干渉により得られ、該参照鏡からの反射光、及び該被測定物からの反射光は、それぞれ前記ビームスプリッタ、前記光量減少フィルタを介して前記撮像手段に入射し、 前記被測定物の凹凸情報をもたない干渉ノイズは、前記撮像手段での反射光と前記光学系構成部材からの光との合成、干渉によって発生し、該干渉ノイズを発生するであろう撮像手段での反射光は、前記光量減少フィルタ、前記光学系構成部材、該光量減少フィルタを順に介して前記撮像手段に入射し、前記主干渉縞を形成する光よりも多くの回数、前記光量減少フィルタを通過した後に、前記撮像手段に入射することを特徴とする光波干渉計。
IPC (1件)：
G01B9/02
FI (1件)：
G01B9/02
Fターム (11件)：
2F064CC01 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG41 ,  2F064GG52 ,  2F064GG61 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01
引用特許：
出願人引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM