特許
J-GLOBAL ID：200903042903209194

光波干渉計及び光波干渉計を用いた測長方法

発明者：
鳴海 達也

鳴海 達也 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-326314
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146517
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 光波干渉計を用いて迅速かつ高精度にワークの予備測定及び本測定を行う。【解決手段】 同一干渉計ブース100内に順次レーザ光と白色光を導入する。ワークを設置し、レーザ光源10からのレーザ光を導入して参照鏡42を基準とする干渉縞をCCD64及びパーソナルコンピュータ68で検出する。干渉縞を規定値に設定することでワークの姿勢を調整する。次にハロゲンランプ28からの白色光を導入してコーナキューブ移動台48を移動させ、参照鏡50を基準とする干渉縞を検出してワークの予備測定を行う。さらに、レーザ光を導入し、参照鏡42を基準とする干渉縞を検出してワークの本測定を行う。予備測定と本測定を同一の干渉計ブース100で行うので、ワークの温度ならし等の手間が省け、予備測定を高精度に行える。
請求項（抜粋）：
レーザ光による干渉を用いてワークの寸法を測定する光波干渉計であって、レーザ光源と、白色光源と、前記レーザ光源からのレーザ光をワーク及びレーザ光干渉の基準となる第1基準面に入射させる第1光学系と、前記白色光源からの白色光をワーク及び白色光干渉の基準となる第2基準面に入射させる第2光学系と、前記第1基準面に対するワークの傾きを調整するワーク調整手段と、前記第1光学系により生じたレーザ光干渉縞及び前記第2光学系により生じた白色光干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、前記第1光学系、第2光学系及びワーク調整手段及び干渉縞検出手段を制御し、レーザ光干渉によるワークの姿勢調整、白色光干渉によるワークの予備測定、レーザ光によるワークの本測定を順次実行する制御手段と、を有することを特徴とする光波干渉計。
IPC (2件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/02
FI (2件)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/02 G
Fターム (36件)：
2F064AA04 ,  2F064DD02 ,  2F064FF02 ,  2F064FF03 ,  2F064FF05 ,  2F064FF07 ,  2F064GG02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG16 ,  2F064GG22 ,  2F064GG32 ,  2F064GG38 ,  2F064GG59 ,  2F064HH03 ,  2F064HH05 ,  2F064HH08 ,  2F065AA22 ,  2F065CC10 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065DD11 ,  2F065EE01 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM