特許
J-GLOBAL ID：200903042462274661

エッチング部品の製造方法及び製造装置

発明者：
小林 哲也

小林 哲也 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-201840
公開番号（公開出願番号）：特開2003-013260
出願日： 2001年07月03日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】エッチング部品製造の乾燥において、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥でも金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させず、従って、エッチング後の金属薄板のエッチングパターン寸法を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定して製造することのできるエッチング部品の製造方法、及び製造装置を提供すること。【解決手段】平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを、金属薄板の搬送方向と平行に、金属薄板の幅方向に多数個、水平に配置し、乾燥ヒーターの各々の温度を制御して乾燥ヒーターによる乾燥をすること。
請求項（抜粋）：
エッチング部品の製造において、フォトレジストを塗布した後の当該フォトレジストの乾燥に、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御してフォトレジストの乾燥を行うことを特徴とするエッチング部品の製造方法。
IPC (2件)：
C23F 1/00 102 ,  F26B 13/02
FI (2件)：
C23F 1/00 102 ,  F26B 13/02
Fターム (10件)：
3L113AA02 ,  3L113AA03 ,  3L113AB06 ,  3L113BA26 ,  3L113DA24 ,  4K057WA11 ,  4K057WC06 ,  4K057WC10 ,  4K057WN01 ,  4K057WN03
引用特許：
審査官引用 (6件)
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