特許
J-GLOBAL ID：200903042489302713
半導体装置及びそのACスペック検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148365
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340991
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 安価なLSIテスターを用い、高速なACスペック検査を正確かつ安定に実行可能な半導体装置及びそのACスペック検査方法を提供する。【解決手段】 被測定半導体装置21のデータ信号出力端子30とクロック信号出力端子32の各々に通常動作時と同値のインピーダンス素子31,33を接続し、被測定半導体装置21内に、外部入力クロック信号に同期したデータ信号を出力する内部機能回路27と、外部入力クロック信号と位相の異なるタイミング信号を発生するタイミング発生器28と、内部機能回路27から出力されるデータ信号を一時的に記憶する記憶素子29と、を設け、LSIテスター22により、記憶素子29より出力されるデータ信号と予め準備しておいた期待値とを比較してACスペック検査を実行する。
請求項（抜粋）：
外部入力クロック信号を入力する入力端子と、上記外部入力クロック信号に同期して動作を行い、データ信号を出力する内部機能回路と、上記外部入力クロック信号と位相の異なるタイミング信号を発生するタイミング発生手段と、上記タイミング信号をトリガーに上記内部機能回路より出力されるデータ信号を一時的に記憶する記憶素子と、上記内部機能回路より出力されるデータ信号を外部へ出力する第1の出力端子と、上記外部入力クロック信号を外部へ出力する第2の出力端子と、上記記憶素子に記憶されているデータ信号を外部へ出力する第3の出力端子と、を備え、上記第1、第2の出力端子の通常動作状態と同値の第1、第2のインピーダンス素子が上記第1、第2の出力端子の各々にパフォーマンスボード上で接続され、かつ、該各インピーダンス素子の他端は接地された、ことを特徴とする半導体装置。
IPC (4件)：
G01R 31/316
, G01R 31/28
, G01R 31/3183
, G01R 31/319
G01R 31/28 C
, G01R 31/28 V
, G01R 31/28 Q
, G01R 31/28 R
2G132AA00
, 2G132AB00
, 2G132AB01
, 2G132AC03
, 2G132AG08
, 2G132AK07
, 2G132AK22
, 2G132AL32
