角速度センサ

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-050604
公開番号（公開出願番号）：特開2001-241952
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】駆動及び検出のための高精度な櫛歯構造の電極を形成することなく薄型且つ高感度な角速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】第1、第2の音叉片2a,2bと、この間にある第1の屈曲振動片6と、これらと相対向する第3、第4の音叉片3a,3b、第2の屈曲振動片7と、各音叉片と屈曲振動片2a,2b,3a,3b、6,7の先端に設けられた付加質量4a,4b,5a,5b,8,9と、第2、第4の音叉片2b,3bに設けられた駆動電極12a,13aと、第1、第3の音叉片2a,3aに設けられたモニター電極14a,15aと、第1、第2の屈曲振動片6,7に設けられた検出電極16a,17aとを備えたことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

XY面内に設けられた基部と、XY面内において前記基部からY軸方向と反対の方向に延出した少なくとも一対の音叉片からなる第1の音叉部と、前記第1の音叉部に相対向するように前記基部からY軸方向に延出した少なくとも一対の音叉片からなる第2の音叉部と、前記第1の音叉部を構成する対をなした音叉片の間にあり且つ前記基部からY軸方向と反対の方向に延出した少なくとも1本以上の屈曲振動片からなる第1の屈曲振動部と、前記第2の音叉部を構成する対をなした音叉片の間にあり且つ前記第1の屈曲振動部に相対向するように前記基部からY軸方向に延出した少なくとも1本以上の屈曲振動片からなる第2の屈曲振動部と、前記第1、第2の音叉部を構成する音叉片をX軸方向またはX軸方向と反対の方向へ屈曲振動させるために前記音叉片に設けられた駆動手段と、Z軸周りの角速度が印加された時、Y軸方向またはY軸方向と反対の方向に働くコリオリ力の大きさに応じて変化する前記音叉片の屈曲変形と釣り合いを保つようにX軸方向またはX軸方向と反対の方向に屈曲変形する前記屈曲振動片の変形量を検出するために前記屈曲振動片に設けられた検出手段とを備えた角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 Z

Fターム (11件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB02 , 2F105BB03 , 2F105BB13 , 2F105CC01 , 2F105CC04 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (2件)

振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-151026 出願人：シチズン時計株式会社
振動型ジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-130523 出願人：アルプス電気株式会社, 富川義朗

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