強化された粒子電界放出器を製造する方法と装置及びその製品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282318
公開番号（公開出願番号）：特開平8-212911
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【課題】本件発明は、電子電界放出器(エミッタ)に関し、特に、粒子性強化電界放出器を作成するための方法と装置を提供することを目的とする。【解決手段】本件発明は、0.1から100μmの大きさを有する複数の基板粒子を備え、25V/μm以下の電界で、少なくとも0.1mA/mm2 の電流密度で電子を放出する低電圧放出材料で前記基板粒子をコーティングすることを特徴とする。本件発明の強化電界放出器は、欠陥リッチダイアモンドのような低電圧放出性材料で粒子性基板をコーティングすることにより作成され、これらの方法は、鋭い形状で低電圧放出の低コスト組み合わせを可能とする。

請求項（抜粋）：

0.1から100μmの範囲の最大サイズを有する複数の基板粒子を提供し、そして25V/μm以下の電界で、少なくとも0.1mA/mm2 の電流密度で電子を放出する低電圧放出材料で前記基板粒子をコーティングする段階からなることを特徴とする低電圧電界放出粒子を製造する方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 , H01J 1/30 , H01J 31/12 , H01J 37/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

改善された電子放出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-023051 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
冷陰極エミツタ素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-117521 出願人：株式会社神戸製鋼所
電界放出電子エミッタ及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-236508 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

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