特許
J-GLOBAL ID：200903042573295676

感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性永久レジスト、感光性フィルム

発明者：
名越 俊昌

名越 俊昌 について

, 
田中 恵生

田中 恵生 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-115395
公開番号（公開出願番号）：特開2009-265388
出願日： 2008年04月25日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：
【課題】 保管安定性に優れ、かつ、HAST耐性に優れた感光性樹脂組成物、及びドライフィルムタイプのアルカリ現像可能な感光性ソルダーレジスト、感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (A)塩素と加水分解性塩素の含有量の合計が100ppm以下であるカルボキシル基、及び光重合性不飽和基を有する感光性プレポリマ、(B)分子中に少なくとも1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマ、(C)光重合開始剤、(D)塩素含有量が200ppm以下であり、加水分解性塩素の含有量が500ppm以下である高純度なエポキシ樹脂、(E)硬化促進剤、を含有する保管安定性とHAST耐性に優れた感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)塩素と加水分解性塩素の含有量の合計が100ppm以下であるカルボキシル基、及び光重合性不飽和基を有する感光性プレポリマ、(B)分子中に少なくとも1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマ、(C)光重合開始剤、(D)塩素含有量が200ppm以下であり、加水分解性塩素の含有量が500ppm以下である高純度なエポキシ樹脂、(E)硬化促進剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  C08F 290/14
FI (4件)：
G03F7/027 511 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 512 ,  C08F290/14
Fターム (67件)：
2H025AA11 ,  2H025AA20 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025BC66 ,  2H025BC74 ,  2H025BC82 ,  2H025CA02 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CC08 ,  2H025CC12 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  4J127AA03 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD441 ,  4J127BD461 ,  4J127BE29Z ,  4J127BE291 ,  4J127BE31Z ,  4J127BE311 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BF30Y ,  4J127BF301 ,  4J127BF46Y ,  4J127BF46Z ,  4J127BF461 ,  4J127BF61Y ,  4J127BF61Z ,  4J127BF611 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Z ,  4J127BG101 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG16Y ,  4J127BG161 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG28Y ,  4J127BG28Z ,  4J127BG281 ,  4J127CA02 ,  4J127CB193 ,  4J127CB281 ,  4J127CB372 ,  4J127CC031 ,  4J127CC112 ,  4J127CC131 ,  4J127DA52 ,  4J127FA17 ,  4J127FA18 ,  4J127FA38
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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