特許
J-GLOBAL ID：200903042620464740
石英ガラス治具及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 良和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-046279
公開番号（公開出願番号）：特開2008-207994
出願日： 2007年02月26日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】表面処理によって新たなパーティクル発生原因を生成することを抑止し、かつ、均一で高精度で再現性のある微細凹凸面を有する石英ガラス治具を提供する。【解決の手段】多関節アームロボット3を利用したレーザー加工装置1からの炭酸ガスレーザー光の焦点を石英ガラスプレート2の表面に合わせ、所望の表面粗さにするために、予め表面粗さRa0.5〜50μmの範囲内における速度と表面粗さの関係式から求めた速度で移動させて、石英ガラスプレートの表面に微細凹凸面を形成した。炭酸ガスレーザー照射により表面に所望表面粗さの微細な凹凸層が形成された。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
レーザー照射により表面に表面粗さRa0.5〜50μmの微細な凹凸面が形成された石英ガラス治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
4G014AH00
, 4G015AA01
, 4G015DA00
, 4G015DA01
