特許

J-GLOBAL ID：200903042623947840

加工装置及び加工方法

発明者： 関家 憲一 ,  ビッテンツェルナー エルマー
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-053193
公開番号（公開出願番号）：特開平11-254281
出願日： 1998年03月05日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 作用要素と被加工物との接触部に加工液を供給しながら行う各種の加工において、加工精度及び加工により形成される結果物の品質の低下を招くことなく、加工液の使用量を節減する。【解決手段】 作用要素と被加工物との接触部に加工液を強制的に侵入させるようにガスを噴出するガス噴出手段を加工装置に設け、ガス噴出手段から噴出されるエアー等のガスによって加工液が作用要素と被加工物との接触部に集中するようにして当該接触部の冷却効果を高める。

請求項（抜粋）：

少なくとも、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物に接触して加工を遂行する作用要素を備えた加工手段と、該作用要素と該被加工物との接触部に加工液を供給する加工液供給手段とを含み、該加工液供給手段から供給された加工液を該作用要素と該被加工物との接触部に侵入させるようにガスを噴出するガス噴出手段を配設した加工装置。

IPC (2件)：

B24B 7/00 ,  H01L 21/301

FI (2件)：

B24B 7/00 Z ,  H01L 21/78 F

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 研削液供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-037152   出願人：日産自動車株式会社
• 平面研削盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-036307   出願人：株式会社ディスコ
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-133145   出願人：ソニー株式会社