特許

J-GLOBAL ID：200903042649794464

ロードロックチャンバー、露光装置、デバイスの製造方法

発明者： 米川 雅見
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-350348
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116851
出願日： 2003年10月09日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：

【課題】 高真空雰囲気下で被露光体を露光する露光装置に用いるロードロックチャンバーであって、高スループットを保ったまま、水蒸気凝結によるパーティクルの発生を防ぐことが可能なロードロックチャンバーを提供する。【解決手段】 露光装置に用いるロードロックチャンバーの給気用配管と排気用配管をバイパスする配管と、内部ガスをその配管内に強制的に循環させる強制循環手段と、その循環経路の途中に内部ガスの水分を除去する水分除去手段を設けた。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ロードロックチャンバーの給気用配管と排気用配管をバイパスする配管と、内部ガスをその配管内に強制的に循環させる強制循環手段と、その循環経路の途中に内部ガスの水分を除去する水分除去手段を設けたことを特徴とするロードロックチャンバー。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 531A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 541L

Fターム (9件)：

5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046DA26 ,  5F046DA27 ,  5F046GA08 ,  5F046GA14 ,  5F056EA12 ,  5F056EA13 ,  5F056EA16

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-308001   出願人：国際電気株式会社
• 減圧装置昇圧用パージガス導入装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-024781   出願人：東京エレクトロン株式会社