特許
J-GLOBAL ID:200903042697617418
光硬化性組成物、並びにそれを用いた光硬化性画像形成材料、光硬化性画像形成材、及び画像形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-359494
公開番号(公開出願番号):特開2005-122048
出願日: 2003年10月20日
公開日(公表日): 2005年05月12日
要約:
【課題】レーザー光に対して高感度であると共に、経時保存安定性、及び基板に対する密着性に優れた光硬化性組成物であって、特に、ソルダーレジスト用として、また、紫外から青紫色レーザー光による直接描画に用いるに好適な光硬化性組成物を提供する。【解決手段】 (A)エチレン性不飽和化合物にシリカ及び/又はシリケートが化学結合してなる有機無機複合体、(B)光重合開始剤、(C)エポキシ樹脂のα,β-不飽和基含有カルボン酸付加体に、多価カルボン酸及び/又はその無水物が付加された、不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂、及び(D)エポキシ化合物を含有する光硬化性組成物。
請求項(抜粋):
下記(A)成分、(B)成分、(C)成分及び(D)成分を含有することを特徴とする光硬化性組成物。
(A)エチレン性不飽和化合物にシリカ及び/又はシリケートが化学結合してなる有機無機複合体
(B)光重合開始剤
(C)エポキシ樹脂のα,β-不飽和基含有カルボン酸付加体に、多価カルボン酸及び/又はその無水物が付加された、不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂
(D)エポキシ化合物
IPC (5件):
G03F7/075
, C08G59/68
, G03F7/004
, G03F7/027
, H01L21/027
FI (7件):
G03F7/075 501
, C08G59/68
, G03F7/004 503Z
, G03F7/004 512
, G03F7/027 502
, G03F7/027 515
, H01L21/30 502R
Fターム (24件):
2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AA11
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC32
, 2H025BC74
, 2H025BC83
, 2H025BC85
, 2H025CA03
, 2H025CA27
, 2H025CA41
, 2H025CB30
, 2H025CC03
, 2H025CC17
, 4J036AA01
, 4J036CA21
, 4J036GA01
, 4J036HA02
, 4J036JA09
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (5件)
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