特許
J-GLOBAL ID：200903042735192590
エキスパンドリング、及び該エキスパンドリングを使用した基板の分割方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334591
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142199
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】ウェーハの裏面に貼着したシートのエキスパンドを行い、チップ間の間隔を広げた状態でエキスパンド状態を維持させることができ、ウェーハのカセットに収納できるような、簡易化、コンパクト化を可能とする。【解決手段】エキスパンドリング10は、環状部材の内径より小径の外径であるリング本体12と、リング本体外周上縁より外側下方に向って延設され先端部の外径が環状部材の内径より大径である張り出し片14とより構成される。シート材Sの下方よりエキスパンドリング10を押し込み、シート材Sに張力を加えて引き伸ばした際に、張り出し片14が下方に撓んで先端部が環状部材Fの内径部分を乗り越え、次いで張り出し片14の撓みが回復し、張り出し片14の先端部がシート材Sを介して環状部材Fの上面に係合することにより、シート材Sの引き伸ばされた状態が維持される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
環状部材に周縁が固定されたシート材に張力を加えて引き伸ばすエキスパンドリングであって、
該エキスパンドリングは、前記環状部材の内径より小径の外径であるリング本体と、該リング本体外周上縁より外側下方に向って延設され、先端部の外径が前記環状部材の内径より大径である張り出し片と、より構成されており、
前記シート材の下方より前記エキスパンドリングを押し込み、前記シート材に張力を加えて引き伸ばした際に、前記張り出し片が下方に撓んで、該張り出し片の先端部が前記環状部材の内径部分を乗り越え、次いで前記張り出し片の撓みが回復し、該張り出し片の先端部が前記シート材を介して前記環状部材の上面に係合することにより、前記シート材の引き伸ばされた状態が維持されるようになっていることを特徴とするエキスパンドリング。
IPC (2件)：
H01L 21/301
, H01L 21/683
H01L21/78 W
, H01L21/68 N
5F031CA02
, 5F031HA01
, 5F031MA34
, 5F031PA30
