赤外線センサ用薄膜、その製造方法、およびそれを用いた赤外線センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-092164
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278478
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】室温においても優れた感度を示し、且つ、ノイズ発生も抑制された赤外線センサ用薄膜を提供する。【解決手段】単結晶構造基板上に、一般式(La1-xAEx)MnO3(ただし、0.02≦x≦0.5であり、AEは、BaまたはSr)で表される酸化物をエピタキシャル成長させて、赤外線センサ用薄膜を成膜する。前記基板の形成材料としては、前記酸化物の格子定数よりも大きい格子定数を有する材料であることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化物から形成された赤外線センサ用薄膜であって、前記酸化物が、一般式(La1-xAEx)MnO3(ただし、0.02≦x≦0.5であり、AEは、BaまたはSr)で表され、前記薄膜が、単結晶構造基板上に形成された薄膜であることを特徴とする赤外線センサ用薄膜。

IPC (3件)：

H01L 37/00 , G01J 1/02 , H01C 7/04

FI (3件)：

H01L37/00 , G01J1/02 C , H01C7/04

Fターム (7件)：

2G065AB02 , 2G065BA12 , 2G065BA14 , 2G065DA20 , 5E034AA09 , 5E034AB08 , 5E034AC03

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