特許

J-GLOBAL ID：200903042799692970

圧力検出器

発明者： 中原 剛
出願人/特許権者： 日本精機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113690
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304637
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 高圧測定において半導体圧力センサとベース板との気密性を良好に確保し、高い信頼性が得られる圧力検出器を提供する。【解決手段】 半導体圧力センサ5を配設する載置部20と、載置部20の周縁に形成されるフランジ部21と、載置部20及びフランジ部21を繋ぐとともに、載置部20及びフランジ部21よりも薄肉となる応力吸収部(中継部)22とをベース板12に備える。ベース板12と圧力導入部9とを接合する接合箇所を、応力吸収部22から所定距離L1をもって隔てたフランジ部21に設ける。

請求項（抜粋）：

気体や液体等の流体の圧力を導入する金属製の圧力導入部に、半導体圧力センサを備える金属製のベース板を配設し、前記圧力導入部と前記ベース板とを溶接することによって両部材を接合する圧力検出器であって、前記半導体圧力センサを配設する載置部と、前記載置部の周縁に形成されるフランジ部と、前記載置部及び前記フランジ部を繋ぐとともに、前記載置部及び前記フランジ部よりも薄肉となる中継部とを前記ベース板に備えるとともに、前記ベース板と前記圧力導入部とを接合する接合箇所を、前記中継部から所定距離隔てた前記フランジ部に設けてなることを特徴とする圧力検出器。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 A

Fターム (9件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055DD04 ,  2F055EE13 ,  2F055FF23 ,  2F055GG12 ,  2F055HH05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体圧力センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-032959   出願人：松下電工株式会社
• 半導体圧力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-025446   出願人：三菱電機株式会社