特許

J-GLOBAL ID：200903042830388621

表面検査装置および表面検査方法

発明者： 上田 泰広
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092725
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283930
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 低コントラストのむらを高精度に検出し、正確に被検査ワークの良否判断を行なうことができる表面検査装置および表面検査方法を提供する。【解決手段】 本発明の表面検査装置および表面検査方法は、被検査画像を画像処理することにより、被検査ワークの良否判定を行なう。具体的には、矩形領域分割部40は、被検査画像の所定領域を分割して複数の矩形領域を抽出する。射影部44は、各矩形領域ごとに輝度値を特定軸上に射影する。分散算出部46は、射影した結果に基づき分散値を算出する。良否判定部48は、各矩形領域における分散値を基準に、被検査ワークの良否判定を行なう。

請求項（抜粋）：

被検査ワークの良否判定を行なう表面検査装置であって、前記被検査ワークの姿勢を変化させながら、前記被検査ワークに照明を与える手段と、前記被検査ワークの表面を撮影する撮影手段と、前記撮影手段により取得された被検査画像に基づき、前記被検査ワークの良否を判定する画像処理手段とを備え、前記画像処理手段は、前記被検査画像の対象領域を複数の矩形領域に分割する領域分割手段と、前記複数の矩形領域のそれぞれにおいて、各画素の輝度値を所定軸上に射影する射影手段と、前記複数の矩形領域のそれぞれに対して、前記射影手段により得られる濃淡輝度値の分布の分散を求める分散算出手段と、前記複数の矩形領域のそれぞれに対して前記分散算出手段により算出された分散値に基づき不良を判定し、前記判定結果に基づき前記被検査ワークの良否を判定する判定手段と含む、表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G03G 5/00 101

FI (4件)：

G01N 21/88 J ,  G01B 11/30 A ,  G03G 5/00 101 ,  G01N 21/88 635

Fターム (47件)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB08 ,  2F065BB16 ,  2F065BB17 ,  2F065BB24 ,  2F065DD03 ,  2F065DD05 ,  2F065FF04 ,  2F065GG01 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL37 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ43 ,  2F065SS02 ,  2F065SS03 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA00 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA14 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07 ,  2G051FA10 ,  2H068AA21 ,  2H068EA41