特許
J-GLOBAL ID：200903042864484891
樹脂発泡体およびそれからなる研磨パッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高島 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-173128
公開番号（公開出願番号）：特開2005-350574
出願日： 2004年06月10日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】 均一な発泡構造を有し、被研磨面の平坦性および平坦化効率の向上が達成でき、かつ研磨作業時の硬度変化が少なく、研磨パッドとして特に有用な樹脂発泡体及びそのような樹脂発泡体を用いた研磨パッドを提供する。【解決手段】 損失弾性率(E”)の主分散のピーク温度(Tα)が100°C以上、かつ示差走査型熱量計(DSC)で測定した結晶化エンタルピー(ΔH)が25J/g以下である熱可塑性樹脂40〜95重量%と損失弾性率(E”)の主分散のピーク温度(Tα)が20°C以下のエラストマー5〜60重量%とを含有する樹脂組成物からなり、密度が0.4〜0.95g/cm3、気泡サイズが1〜100μmである樹脂発泡体。該樹脂発泡体を用いた研磨パッド。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
損失弾性率(E”)の主分散のピーク温度(Tα)が100°C以上、かつ示差走査型熱量計(DSC)で測定した結晶化エンタルピー(ΔH)が25J/g以下である熱可塑性樹脂40〜95重量%と損失弾性率(E”)の主分散のピーク温度(Tα)が20°C以下のエラストマー5〜60重量%とを含有する樹脂組成物からなり、密度が0.4〜0.95g/cm3、気泡サイズが1〜100μmである樹脂発泡体。
IPC (3件)：
C08J9/12
, B24B37/00
, C08L101/00
C08J9/12
, B24B37/00 C
, C08L101/00
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB01
, 3C058DA17
, 4F074AA72
, 4F074AA78
, 4F074AB02
, 4F074BA32
, 4F074CB53
, 4F074CC03Y
, 4F074CC04Y
, 4F074CC05Y
, 4F074CD00
, 4F074DA02
, 4F074DA03
, 4F074DA56
, 4J002CK03W
, 4J002CK04W
, 4J002CK05W
, 4J002CL03W
, 4J002CL07X
, 4J002CL08X
, 4J002GM00
, 4J002GT00
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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