特許
J-GLOBAL ID：200903042876372169

高速切削加工で硬質潤滑層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具

発明者：
益野 智行

益野 智行 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (3件)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎 ,  影山 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-359830
公開番号（公開出願番号）：特開2007-160465
出願日： 2005年12月14日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】高速切削加工で硬質潤滑層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。【解決手段】表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬基体の表面に、(a)マグネトロンスパッタリング装置にて、磁場中成膜されたTiN層またはTiCN層の密着接合層、(b)同じく磁場中成膜され、非晶質炭素と非晶質WCの2相混合相からなる非晶質分散相と、組成式:(Ti1-XWX)C1-YNY(ただし、原子比で、X:0.01〜0.3、Y:0.5〜0.8)、を満足する(Ti,W)CNからなる結晶質連続相の組織、W:2〜18原子%、Ti:30〜45原子%、窒素:30〜45原子%、を含有し、残りが炭素(ただし、5〜25原子%含有)と不可避不純物からなる全体組成、を有する硬質潤滑層、以上(a)および(b)を蒸着形成してなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、 (a)0.1〜3μmの平均層厚を有し、かつ、マグネトロンスパッタリング装置にて、カソード電極(蒸発源)としてTiターゲットを用い、窒素とArの混合ガス、または炭化水素の分解ガスと窒素とArの混合ガスからなる反応雰囲気で磁場中成膜された、窒化チタン層および炭窒化チタン層のうちのいずれか、または両方からなる密着接合層、 (b)1〜10μmの平均層厚を有し、かつ、透過型電子顕微鏡による観察で、非晶質分散相が5〜35面積%の割合を占め、残りが結晶質連続相からなると共に、前記非晶質分散相は非晶質炭素と非晶質炭化タングステンの2相混合相、前記結晶質連続相は、オージェ分光分析装置による測定で、 組成式:(Ti1-XWX)C1-YNY(ただし、原子比で、X:0.01〜0.3、Y:0.5〜0.8)、 を満足するTiとW(タングステン)の複合炭窒化物、からなる組織、 マグネトロンスパッタリング装置にて、カソード電極(蒸発源)として、炭化タングステンターゲットとTiターゲットを用い、炭化水素の分解ガスと窒素とArの混合ガスからなる反応雰囲気で磁場中成膜され、 W:2〜18原子%、 Ti:30〜45原子%、 窒素:30〜45原子%、 を含有し、残りが炭素(ただし、5〜25原子%含有)と不可避不純物からなる全体組成、 以上の組織および組成を有する硬質潤滑層、 以上の密着接合層および硬質潤滑層を蒸着形成してなる、高速切削加工で硬質潤滑層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具。
IPC (2件)：
B23B 27/14 ,  C23C 14/06
FI (2件)：
B23B27/14 A ,  C23C14/06 P
Fターム (17件)：
3C046FF03 ,  3C046FF05 ,  3C046FF10 ,  3C046FF11 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA54 ,  4K029BA60 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029EA01 ,  4K029FA05
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開昭58-6971号公報
審査官引用 (4件)
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